下面華盛興邦談下凈化車間的隔離裝置與微環境。降低造價及運行費用是凈化車間設計所追求的目標,當加強污染控制會帶來產量、質量的提高時尤其如此。因此,各種稱為“隔離裝置”“屏障技術”“微環境”的設施如雨后春筍般涌現出來?!拔h境”是半導體工業中常用的術語,“隔離裝置”“屏障技術”則在生物潔凈如制藥工業中經常用到。
各種凈化級別的凈化車間實際上就是一種隔離裝置,使加工工藝及其加工的產品遠離污染,提高產品的優良率??梢哉f,潔凈技術就是隔離技術。在潔凈技術的發展中曾依次使用過四種半導體工業中的潔凈室模式它們是:全室型、混合型、潔凈隧道型和潔凈管道型,如圖1所示。
圖1
從上面提到的四種潔凈方式或四代潔凈室的發展方式可以看出,潔凈技術的發展方向就是在努力提高潔凈度等級的同時,盡可能地減少超潔凈區域的容積,降低潔凈廠房的造價和運行費用,達到最小化生產成本的目的。微環境和SMIF/微環境就是在這樣的理念下發展起來的。