在凈化車間設計中，微環境設計是現在比較受歡迎的一種形式。所謂微環境就是利用物理屏障將關鍵的生產區域加以隔離，免遭污染，并為其提供質量最好的空氣。而隔離區域以外的其他區域，獲得的空氣質量可以不如微環境那樣好，參見圖所示。
凈化車間的微環境也是一種隔離裝置，是隔離技術在工程中的具體應用。
圖5-34是不帶微環境的常規潔凈室設計圖。在潔凈室中，在工作人員將硅晶片從一個設備移到另一個設備的地方，系統提供了大量的單向流空氣，以保證最好的空氣條件（即圖5-34中的白色部分，ISO3級水平）。用隔板與設備隔開的服務區，則提供質量較低的空氣（即圖5—34的陰影部分，ISO6級水平）。
圖5-35是使用了微環境的設計圖。由微環境提供最高質量的環境條件（圖中白色部分，要求為ISO3級），而在生產區和服務區均只提供了質量較低的空氣（圖中陰影部分，要求為ISO6級或更差些）?？梢钥闯?，這種使用了微環境的設計可以大大降低整個系統的送風量，既保證了工藝區域要求的空氣潔凈度，又降低了能量消耗。在整個半導體設施的SMIF執行區域，從潔凈空間體積的縮小和能量節省來看可能是最為要緊的。